冷却、放熱、熱交換、加熱 Cooling, Heat Dissipation, Heat Exchange, Heating

HEATING

加熱

半導体製造装置の成膜工程において、化学反応を促進するため、ウエハーを加熱します。

ステージヒータ(半導体プロセス部品)

ステージヒータ(半導体プロセス部品)

半導体製造の成膜装置において、高精度な温度管理に貢献します。