冷却板（半導体プロセス部品）
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製品名
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冷却板（半導体プロセス部品）
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製品カテゴリ
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半導体プロセス部品
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業界・使用シーン
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情報通信関連・半導体製造装置
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機能
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冷却
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概要
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半導体製造のエッチング工程で主に使用される静電チャック向け冷却板です。半導体基板の温度を高精度で制御します。
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特徴
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金属表面にセラミックの溶射を施すことで、電気絶縁性や耐食性を強化することができます。
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