シャワーヘッド（半導体プロセス部品）
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製品名
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シャワーヘッド（半導体プロセス部品）
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製品カテゴリ
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半導体プロセス部品
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業界・使用シーン
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情報通信関連・半導体製造装置
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機能
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ガス供給
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概要
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半導体製造の成膜やエッチングなどの工程で、半導体基板上にプロセスガスを供給する製品です。
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特徴
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多数の微細孔と、内部には接合によって形成された複雑なガス流路を有している事により、高精度なプロセスガス分布調整が可能です。
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